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专业精修ebara荏原esa200w干泵

文章出处:远升真空 人气: 发表时间:2017-10-09 10:01:31【
专业精修ebara荏原esa200w干泵
专业精修日本荏原原装进口全系列真空泵
日本EBARA荏原ESA200W干泵维修
EBARA荏原ESA200W干式真空泵的介绍
 
ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/L等工艺要求,并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速、高通信功能等。
 
荏原esa200w干泵的特点:
最适用于大型真空反应室的高速排气
具有高性能通信机能
转速自动调节功能
采用高速控制泵运转方式
采用大口径转子,设计上完美小型
不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低
也可用于有机溶剂排气上用的特别规格

荏原esa200w干泵的说明:
ESA系列是新研发的独特干式真空泵,具有优越的高速排气性能从而适应了LCD溅射制膜装置,真空干燥制程,大型L/L等工艺要求,并拥有高附加价值,对应气体负荷自动控制转速、高通信功能等 特点: 最适用于大型真空反应室的高速排气 具有高性能通信机能 转速自动调节功能 采用高速控制泵运转方式 采用大口径转子,设计上完美小型 不产生真空泵大型化所引起的搬运性能降低 也可用于有机溶剂排气上用的特别规格。

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